分子泵的性能原理及結(jié)構(gòu)都是怎樣的呢?
更新更新時間:2020-06-05 瀏覽次數(shù):1616
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。 常規(guī)的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造,使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時,更使分子泵適合超高真空系統(tǒng),也延長了分子泵的使用壽命。
分子泵與油封式旋片泵和渦輪式干泵相比,工作環(huán)境更加清潔,而且可以達(dá)到*的真空度。但是,分子泵不能在大氣壓下工作,必須和其他能夠在大氣壓下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或渦輪式干泵)聯(lián)合使用。分子泵構(gòu)造復(fù)雜、價格昂貴,高速旋轉(zhuǎn)工作時會有振動。
分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同,利用了動量傳遞原理,使分子定向流動而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。
分子泵在電機(jī)的帶動下高速旋轉(zhuǎn),采用變頻電源驅(qū)動電機(jī),目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動方向上,產(chǎn)生定向流動而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運(yùn)動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象,利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動時間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小,密封間隙太小,工作可靠性較差,易出機(jī)械故降,而且制造困難,實(shí)際上很少應(yīng)用。