安捷倫分子泵結(jié)構(gòu)通常包括以下幾個主要組成部分
更新更新時間:2023-10-22 瀏覽次數(shù):783
安捷倫分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵,因此對平衡的要求很高,對固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。常規(guī)的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造,使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時,更使分子泵適合超高真空系統(tǒng),也延長了分子泵的使用壽命。
安捷倫分子泵結(jié)構(gòu)通常包括以下幾個主要組成部分:
1、泵體:泵體是分子泵的主體部分,通常由不銹鋼等材料制成。它包含了泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和各種組件。
2、軸向壓縮器:軸向壓縮器位于泵體的入口處,用于提高氣體的壓力,并將其引導(dǎo)到分子泵的轉(zhuǎn)子。
3、離心壓縮器:離心壓縮器安裝在軸向壓縮器后面,其作用是進(jìn)一步增加氣體的壓力并使其達(dá)到更高速度。
4、分子轉(zhuǎn)子:分子轉(zhuǎn)子是分子泵的核心部件,由多個旋轉(zhuǎn)的葉片組成。當(dāng)氣體經(jīng)過轉(zhuǎn)子時,分子與葉片碰撞,并被推向泵的出口方向。
5、靜態(tài)定子:靜態(tài)定子環(huán)繞著分子轉(zhuǎn)子,它們的形狀和間隙與分子轉(zhuǎn)子相匹配,以確保良好的密封性能。
6、冷阱:冷阱通常位于分子泵的出口處,用于捕獲和冷凝未被抽取的氣體或蒸汽分子。
7、控制系統(tǒng):分子泵還包括一個控制系統(tǒng),用于監(jiān)測和控制泵的運(yùn)行狀態(tài),如轉(zhuǎn)速、溫度和壓力等參數(shù)。